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    使用分子泵时要注意什么

    2022-08-12 17:51:37

    分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的总称。它是一种非常常见的设备,可以获得高真空和超高真空。分子泵内部有一个高速旋转转子。支撑转子平稳旋转的轴承承载大量负荷。正确使用和及时维护对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常运行具有重要意义。专业分子泵维修厂家帕纳光电带大家了解一下分子泵使用时的注意事项。

    尽量避免频繁启停:

    当分子泵以均匀的速度工作时,转子叶片只受离心力的影响(真空阻力很小,可以忽略不计),即远离轴向的拉力;在加速和减速过程中,叶片也受到旋转切线方向的力,这相当于弯曲叶片的力。显然,弯曲叶片对其疲劳寿命的贡献更大。

    此外,分子泵加速时功率大,内部发热严重,频繁启停(两次启动间隔30分钟)会导致热量积聚,导致分子泵内部温度过高,加剧轴承磨损。

    根据工艺条件选择合适的冷却方式:

    分子泵有三种冷却方法:自然冷却、强制风冷和水冷。300l/s下面的分子泵可以在没有气体负荷的情况下自然冷却;当较大的分子泵或有一定的气体负荷时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于一些负载较大的应用程序(例如CVD),或者不方便使用风机的环境(如辐射环境),需要采用水冷。

    分子泵维修

    无论采用何种冷却方式,分子泵的环境温度应保持在5~在35摄氏度之间,采用处理后的软水进行水冷,冷却水的温度和流量也要符合说明书的要求。

    空档滑行不可取:

    当分子泵工作时,转速非常高(数万转/分钟)。在加速和减速过程中,不可避免地要经过一些危险的共振频率。在这些共振频率下长时间运行会增加轴承负载,从而增加分子泵故障的风险。当真空下自然停止泵(空档滑动)时,由于真空下的空气阻力很小,分子泵转子需要几十分钟甚至几个小时才能完全停止,其中共振频率运行时间相对较长。

    一般建议在分子泵停机时,手动或通过专用充气阀(VentValve),通过充气口填充空气/氮气,增加转子阻力,使其快速停止;手动充气时,注意控制充气速度,使停机时间等于分子泵的启动时间(根据泵的大小,一般为3)~10分钟)。

    大多数型号的分子泵也具有电磁制动功能(ActiveStop),可以在不破空的情况下快速停机。

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