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    让分子泵健康工作的事项

    2022-06-22 15:57:44

    分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的总称。它是一种常见的可以获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有一个高速旋转转子。支撑转子平稳旋转的轴承承载大量负荷。正确使用和及时维护对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常运行具有重要意义!可以减少分子泵维修的次数。

    1.尽量避免频繁启停。

    当分子泵以均匀的速度工作时,转子叶片只受离心力的影响(真空阻力很小,可以忽略不计),即远离轴心方向的拉力;在加速和减速过程中,叶片也受到旋转切线方向的力,这相当于弯曲叶片的力。显然,弯曲叶片对其疲劳寿命的影响更大。

    此外,分子泵加速时功率比较大,内部发热严重,频繁启停(两次启动间隔小于30分钟)会导致热量积聚,导致分子泵内部温度过高,加剧轴承磨损。

    分子泵维修

    2.根据工艺条件选择适当的冷却。

    分子泵有三种冷却方式:自然冷却、强制风冷和水冷。300l/s以下的分子泵可以在没有气体负荷的情况下自然冷却;当较大的分子泵或有一定的气体负荷时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于一些负荷较大的应用(如CVD)或不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要水冷。

    无论采用何种冷却方法,分子泵工作的环境温度应保持在5-35摄氏度之间。采用水冷时,应使用处理后的软水,冷却水的温度和流量也应符合说明书的要求。

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