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    广州帕纳光电科技有限公司

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    分子泵产品是集成电路制造装备的关键核心零部件

    2022-05-25 16:10:21

    分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。在分子流区域内,气体分子与高速转动的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的,分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。在分子流区域内,气体分子与高速转动的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。

    分子泵

    涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图5-14所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列,动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难,涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,可达10-8 pa,分子泵机组比罗茨泵机组抽气速率大,真空度高近一个数量级。而且相较而言,分子泵机组的噪音更小,占地面积更小。

    分子泵

    分子泵产品是集成电路制造装备的关键核心零部件,为工艺刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体制造关键工艺过程提供所需的高洁净度超高真空环境。由于半导体产业链价值较高,对其生产工艺中的各项装备可靠性要求极其严苛。磁悬浮分子泵作为关键核心零部件,不仅需满足半导体制造装备的各项工艺技术指标,还需要满足其苛刻的安全性、可靠性要求。


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