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    分子泵可以运用在半导体设备中

    2022-05-25 11:23:53

    分子泵的发展历程早期的分子泵均为牵引式分子泵,这种泵的体积大,抽速小,间隙小,故障多,应用时受到很多限制,所以只能在一些特殊领域使用,未能普及,从分子泵诞生至今,已有近百年的历史,随着各项科学技术的不断进步,分子泵技术也取得了许多创新与突破,现代分子泵更是朝着智能、灵活、高效的方向发展,近些年随着控制理论与计算机技术的飞速发展并应用于分子泵上,使分子泵实现了电脑控制,从而实现了远距离控制泵的起动、停车及调速,同时基于信息技术可建立完善的安全及监控系统,使分子泵朝向智能化方向发展。

    涡轮分子泵

    涡轮分子泵是通过高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合实现气体的抽取,获得超高真空的一种机械真空泵。涡轮分子泵是在分子流动状态下,利用机械动能气体使分子直接压缩并流动的真空泵。分子泵是获得清洁真空环境的理想选择。由于涡轮分子泵在某些情况下优于低温泵、离子泵和扩散泵,因此,一般情况下选择涡轮分子泵。涡轮分子泵是高或超高真空泵,主要由转子和定子两个部分组成。一个旋转的转子盘和一个静止的定子盘组成了一个泵级,泵级产生一个特定的压缩比。通过连续开启增加压缩效果的多个泵级,可以获得高达1013的压缩比。例如,现代真空泵在后侧使用霍尔维克级(Holweck),减少了涡轮级的数量而不影响压缩效果。与此同时,一些生产商可能将允许的前级管道压力增加至30hPa以上,极大减小了前级泵的尺寸,并可首次使用隔膜泵。

    涡轮分子泵

    分子泵在半导体设备中的应用在半导体生产制造工艺中,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。


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